丝素蛋白水显影抗蚀剂

水显影纳米图形

以水为显影剂、可灰度写入的天然蛋白抗蚀剂，为绿色微纳加工提供高分辨掩模方案。

Rostami, Mohammadreza · Wang, Ya · 张晓升 · Liu, Xia · Brugger, Juergen

Advanced Science 2024

具体参数

线边缘粗糙度

{'zh': '5', 'en': '5'} nm

技术优势

纯水显影

丝素蛋白薄膜受热后水溶性改变，可在去离子水中显影，无需有机溶剂，适合生物环境和绿色加工。

高选择比掩模

丝素蛋白作为SiO2刻蚀掩模时选择性达42:1，可制造高深宽比结构，作为硬掩模用于后续纳米加工。

灰度直写

热扫描探针光刻能够在丝素薄膜中实现灰度图案，为三维结构和梯度形貌加工提供新途径。

应用场景

• 纳米压印：提供水溶性模板层，简化脱模并避免溶剂残留。
• 电子束光刻：作为生物来源正性抗蚀剂，可与电子束直写工艺结合。
• 生物相容性微器件：避免有毒显影剂，直接在生物相容基底上构建微结构。
• 柔性电子：水显影工艺对柔性衬底温和，可用于柔性器件图形化。
• 生物模板：丝素蛋白天然可降解，可制备生物相容性模板。