TiO₂保护层

抗氢等离子体，自除锡污染

与现有Ru/RuO₂保护层不同，TiO₂对锡沾污吸附极弱且阻氢性强，可在无损功率下彻底清除污染物，显著延长EUV反射镜寿命。

叶宗标 · Wu, Andong · 高涛 · 韦建军

Nanoscale 2026

具体参数

Sn吸附能

{'zh': '0.11', 'en': '0.11'} eV

Sn清除时间

{'zh': '8', 'en': '8'} h

氢扩散势垒

{'zh': '1.57', 'en': '1.57'} eV

氢吸附能

{'zh': '+0.34', 'en': '+0.34'} eV

技术优势

Sn不粘

TiO2对Sn的化学吸附极弱（0.11 eV），远低于Ru和RuO2，使污染物易于物理溅射清除而非化学键合残留。

不惧氢

氢在TiO2表面为吸热吸附（+0.34 eV），扩散势垒高达1.57 eV，且具有优异的抗还原性，避免氢渗入和材料退化。

应用场景

• EUV反射镜：替代现有Ru/RuO2保护层，直接在氢等离子体清洗中延长镜面寿命。
• EUV光刻机：维持高反射率与良率，减少因镜面污染导致的停机维护。
• 等离子体腔室组件：以阻氢和抗还原性保护腔体内壁，避免等离子体环境退化。