单晶硅电晕消电针

放电均匀稳定

与金属钨针相比，硅针在周期性流光阶段具有更优异的脉冲均匀性和稳定性，更适用于静电消除。

Yanyi, Wang · Yining, Ge · Yong, Chen · Li, Wang · 刘轩东

Journal of Electrostatics 2025

技术优势

放电更均匀

硅针在周期性流光阶段脉冲幅值和间隔一致性好，静电消除过程更平稳。

模式更简单

硅针仅呈现三种放电模式，避免了钨针的复杂丝状和刷状放电，系统控制更易实现。

应用场景

• 静电消除器：替代传统金属针，提供更均匀稳定的电晕放电，提升静电消除效率。
• 精密仪器防静电：利用硅针的均匀放电特性，减少静电积累对精密仪器的潜在损伤。
• 半导体制造防静电：在半导体洁净室中，硅针的稳定放电有助于控制静电，防止晶圆缺陷。
• 光刻静电防护：光刻工艺中，硅针的周期性流光放电可有效中和掩模版上的静电。