钆等离子体光源

6.7 nm 高光谱纯度

通过优化激光焦距与脉冲能量，实现了 6.7 nm 发射的高光谱纯度钆等离子体，适用于下一代 6.x nm 光刻。

Wen, Zhilin · Xie, Zhuo · Chaohui, Wang · Qi-Jin, Zhang · Si, Ming Qi · 宋晓伟 · Dou, Yinping · Li, Bochao · 林景全

Vacuum 2024

具体参数

焦距

{'zh': '175', 'en': '175'} mm

激光脉冲能量

{'zh': '100', 'en': ''} mJ

范围内光谱纯度最高

{'zh': '3.7', 'en': '10'} %