非对称衍射超表面

无透镜匀化照明

用单个超表面替代传统透镜组，同时实现光场匀化与实时监测，让光刻照明系统大幅简化。

赖耘 · 马旭 · Li, Fan · 王磊 · 余少华

Research 2026

具体参数

非均匀度低于

3 %

技术优势

成功曝光多种特征尺寸图案