850 nm 光刻线条
通过电流体动力喷射辅助组装微球透镜，实现任意图案的高分辨率投影光刻，最小特征尺寸达到850 nm。
Zhong, Ya · 于海波 · Zhou, Peilin · Hongji, Guo · Zhao, Tianming · 罗豪 · 文扬东 · 王晓朵 · 刘连庆
Photonics Research 2023
与自组装不同，E-jet 打印可以按照数字设计精确控制微球位置，从而获得任意图案的微球透镜阵列。
仿真结果表明，UV 固化胶对微球透镜的光学性能几乎没有影响，保证了成像质量。
微球透镜的成像分辨率优于传统微透镜，为高分辨成像和光刻提供更好的性能。
该方法为制造亚微米特征的结构阵列提供了一种廉价且简单的策略，无需复杂设备。