全息飞秒激光光刻平台

复杂超表面快速制造

用解析-复合算法驱动的全息飞秒激光光刻，把复杂太赫兹超表面的单元加工时间缩短到几十毫秒级，通量比逐点法高一个量级，且复杂度不敏感。

Rao, Dan · 钱静 · Lequn, Liu · Wang, Guande · 冷雨欣

ACS Applied Materials & Interfaces 2026

参数信息

全息转换效率

>80 %

每个超单元加工时间

37 ms

技术优势

100 × 100 超单元制造时间 10 min

比逐点光刻快一个数量级