大行程磁阻纳米定位器

毫米行程纳米精度

通过柔性刚度补偿器抑制磁阻执行器的非线性，使大行程下的等效刚度波动显著减小，从而实现高线性度的精密运动控制，并兼容原子力显微镜表征。

Xuexuan, Li · Liu, Yijie · Lin, Ge · 张铮

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2024

参数信息

mm

1 Hz

行程

>1 mm

技术优势

20 μm三角波 @80 Hz 精密跟踪 RMSE 8.2 nm

应用场景

• 原子力显微镜：直接作为AFM的扫描平台，实现毫米级大范围高速表征。
• 精密定位：在毫米级行程内提供纳米级定位精度，替代传统堆栈式执行器。
• 微纳操控：以高精度大行程运动执行微纳尺度物体的操控任务。
• 机器人执行器：作为机器人关节的执行器，提供大行程非接触力输出。