双脉冲Gd等离子体源

光谱纯度更高

通过双脉冲激光调控产生窄光谱峰，优化了电子密度分布，从而更好地匹配多层膜反射带宽。

Wen, Zhilin · Xie, Zhuo · Chaohui, Wang · Qi-Jin, Zhang · 宋晓伟 · Dou, Yinping · Li, Bochao · 潘其坤 · 陈飞 · Zhao, Chongxiao · 林景全

Optics Express 2024

具体参数

延迟和

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技术优势

模拟显示消融前沿密度梯度更平坦

EUV发射区平均电子密度更低