p型SnOₓ薄膜

宽工艺窗口

高功率沉积的SnOₓ薄膜对氧分压不敏感，内部缺陷态演变缓慢，为p型氧化物晶体管提供了更宽的工艺窗口。

Yuyan, Zhou · Yu, Song · Hong, Ruohao · 刘兴强 · 邹旭明 · Iñíguez, Benjamín · Flandre, D. · 李国立 · 廖蕾

IEEE Transactions on Electron Devices 2023

具体参数

70 W和30 W的射频功率

高功率薄膜对氧分压敏感性低