压电纳米定位系统

模糊自适应高可靠

一种采用模糊反步策略的2自由度压电纳米定位系统，通过虚拟跟踪模型和模糊逻辑系统减轻迟滞及未建模高阶非线性，并注入执行器效率因子实现高精度可靠运动控制。

陈力恒 · 徐青松

IEEE Transactions on Fuzzy Systems 2024

技术优势

抗迟滞与非线性

采用模糊逻辑系统逼近迟滞和未建模高阶非线性，无需精确模型即可抑制其影响。

自适应抗扰

基于跟踪误差的自适应机制自动调节控制参数，增强对未知扰动的鲁棒性。

实验验证有效

通过仿真和实际实验表明所提方法优于现有控制方法。

应用场景

• 精密运动控制：提供多自由度压电平台的高精度轨迹跟踪，替代常规PID控制。
• 微纳操作机器人：实现微纳操作机器人的稳定末端定位，补偿迟滞与耦合。
• 半导体制造设备：用于晶圆检测与光刻等精密运动，提升定位精度。
• 高精度定位平台：直接集成到多自由度定位平台控制器，实现高精度运动。
• 扫描探针显微镜：用于扫描探针显微镜的探针精确定位，提高成像质量。