界面结合更稳
通过退火、AlN应变工程和表面粗糙度降低的组合优化，显著提升AlN/金刚石异质界面的力学稳定性，为超宽禁带半导体器件的可靠运行提供解决方案。
Zijun, Qi · Sun, Xiang · 王啟军 · Zhang, Dongliang · Liang, Kang · 李瑞 · Zou, Diwei · Li, Lijie · 吴改 · 沈炜 · 刘胜
ACS Applied Materials & Interfaces 2024
退火处理通过增加界面处 C-N 键结合，降低了总势能，从而使界面在拉伸时更能抵抗剥离。
结合表面粗糙度降低、AlN 应变工程和退火处理，可以实现更优且更稳定的界面力学性能。