亚10纳米难熔金属互连线

逆风电迁移

这种过渡金属纳米互连线在原子尺度表现出违反传统认知的逆风电迁移现象，为极端工艺下下一代电子互连的可靠性优化开辟了新方向。

Hong, Youran · Deng, Tianqi · Li, Xiyao · Han Z.-K. · Wang, Jian · 宋克兴 · 张泽 · 王江伟

Nature Communications 2026

技术优势

表面原子逆电子流方向迁移

逆风迁移在钨和钼等多种难熔金属纳米互连线中具有普适性