MEMS电化学角加速度计

直测角加速度

无需对陀螺仪信号微分，直接输出高保真角加速度，消除相位滞后与噪声放大问题。

刘清华 · Zhang, Honghao · Jiesong, Yang · Xiaoye, Huo · Lu, Yulan · 陈健 · 王英勋 · 陈德勇 · 王军波

Microsystems and Nanoengineering 2026

具体参数

灵敏度的绝对值

4.5 V/(rad/s²)

噪声底

3.12 × 10⁻⁶ (rad/s²)/√Hz

功耗

2.4 mW

补偿后带宽

10 Hz

技术优势

直测角加速度

器件直接输出角加速度，避免了微分陀螺仪信号带来的相位滞后和噪声放大，从而提升飞控响应速度与控制精度。

低噪声

在1 Hz处噪声底低至3.12×10⁻⁶ (rad/s²)/√Hz，能够检测微小的角加速度变化，提高姿态估计精度。

低功耗

功耗仅2.4 mW，适合无人机等对能耗敏感的平台长时间集成使用。

应用场景

• 无人机姿态控制：直接提供低延迟角加速度反馈，替代陀螺仪微分信号，提高飞控响应速度。
• 低空飞行器导航：在低空复杂环境中提供高保真角加速度，增强导航系统的姿态估计精度。
• 惯性测量单元：作为IMU新组件，直接输出角加速度，减少信号处理延迟和噪声。
• 运动控制传感器：为运动控制系统提供高分辨率的角加速度信号，提升控制稳定性和精度。
• 机器人姿态感知：让机器人直接感知角加速度，避免微分带来的噪声，实现更平稳的运动控制。