范德瓦尔斯预沉积电极

晶圆级可靠集成

一种可机械转移的预沉积金属电极，以范德瓦尔斯接触实现二维材料与金属的晶圆级集成，避免传统工艺损伤。

张晓东 · Huang, Chenxi · Li, Zeyu · 付俊 · 邵翔 · 韩玉磊 · 乔振华 · 曾华凌

Nature Communications 2024

技术优势

晶圆级集成

可调界面电学特性