氮退火氧化镓薄膜晶体管

迁移率提升27倍

通过氮退火与Al₂O₃封装双重缺陷钝化,解决了氧化镓薄膜晶体管载流子传输受缺陷制约的问题,为高温高压显示与日盲紫外探测提供高性能器件。

李鹏 · Shi, Jiajuan · Li, Zhuangzhuang · 林亚 · 李海燕 · 王中强 · 赵晓宁 · 马剑钢 · 徐海阳 · 刘益春

ACS Nano 2025

参数信息

场效应迁移率提升倍数
>27 ×
日盲紫外响应度提升倍数
>94 ×
指纹识别准确率
>91.8 %

技术优势

迁移率提升27倍

通过氮退火与Al₂O₃封装钝化深能级缺陷,载流子传输阻碍被有效移除,场效应迁移率大幅提升。

紫外响应度提高94倍

缺陷钝化不仅提升迁移率,还将日盲紫外响应度提高超过94倍,显著增强探测灵敏度。

光响应栅压可编程

栅压与光生载流子竞争机制使得响应度和响应时间均可通过栅压调节,为多功能探测和计算提供灵活性。

噪声下识别准确

基于该器件的储备池计算系统在40%噪声下指纹识别准确率仍超过91.8%,适用于恶劣环境。

应用场景