纳米级分辨率大行程
采用两级菱形放大机构和四角布置，实现紧凑体积下的大行程三自由度纳米定位。
Shengdian, Zhang · 崔玉国 · 杨依领 · Keke, Dong · Xie, Qifang
Journal of Mechanisms and Robotics 2025
两级菱形放大机构将压电陶瓷的微小形变放大，使平台在 z、θx、θy 三个方向都能获得大行程位移。
压电驱动与柔性铰链机构保证了纳米级分辨率，适合需要精细定位的应用。
四角布置的设计使得平台结构紧凑，占用空间小，易于集成到各种系统中。
速率相关模型与PI控制相结合的复合控制器，实现了优异的跟踪精度和鲁棒动态性能。