亚纳米分辨率
该减速器将桥式与杠杆式机构结合，通过差分位移输出实现超大幅减速比，从而获得亚纳米级运动分辨率。
Wu, Houqi · Yintian, Zhang · Li, Lingling · Bai, Ruiyu · Haitao, Wang · 陈贵敏
IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2025
桥式与杠杆式机构输出差分位移，使平均减速比可达206.4，为亚纳米分辨率提供基础。
采用神经网络H∞鲁棒控制器，闭环轨迹跟踪误差低于0.5 nm，分辨率进入亚纳米。
基于柔性铰链的紧凑设计可直接集成到现有压电或磁致伸缩驱动平台，升级定位分辨率而不需大幅改动系统。