10 fF/μm²高密度
IRDS预测的10 fF/μm²高电容密度、100 ppm/V²低电压线性度和10 nA/cm²低漏电流的MIM电容器技术方案与挑战。
Kannadassan, Dhanaraj · Sivasankaran, K. · Sundaram, Kumaravel · Cheng, Chunhu · Shojaei Baghini, Maryam · Mallick, P. S.
Proceedings of the IEEE 2024