紧凑结构大位移
采用菱形柔性放大机构放大压电叠堆位移,实现大行程与高负载的尺蠖式驱动。
柏德恩 · Shaolong, Deng · Yuntao, Li · Li, He
Sensors and Actuators, A: Physical 2023
多个柔性铰链确保夹持单元与导轨完全脱离,减少摩擦和磨损。
菱形放大机构集成度高,整个驱动器体积小,便于装入精密设备。