直拉硅单晶

揭示等径生长阶段本征缺陷演变与热应力分布,为优化晶体生长工艺提供依据。

陈永生 · Shiyao, Gu · Li, Xiaochuan · Haotian, Mei · Caixia, Cui · Hangjin, Wu · 王新昌

Journal of Physics D: Applied Physics 2025