高熵氧化物介电层

低漏电高透光

一种溶液法制备的(HfMgTiYZr)Oₓ介电层，兼具高介电常数和可见光高透射率，用于薄膜晶体管时可实现高性能。

梁智昊 · 吴为敬 · Fu, Xiao · 宁洪龙 · 苏国平 · Hongcheng, Wang · 邱天 · Yang, Zhao · 姚日晖 · 彭俊彪

Surfaces and Interfaces 2023

具体参数

漏电流密度

2.9×10⁻⁷ A/cm²

可见光范围透射率

88 %

迁移率

14.2 cm²/Vs

技术优势

介电常数13.0