钒德华接触解锁缩放优势
钒德华金属层压可缓解接触钉扎效应,恢复单层二硫化钼晶体管抑制短沟道效应的能力,为二维晶体管在实际集成电路中的缩放提供关键工艺。
Xiao, Liu · Lu, Zheyi · Shu, Zhiwen · Long, Chen · Runtong, Guo · Ma, Likuan · Tao, Quanyang · Ding, Shuimei · Yunxin, Li · Jinghui, Gao · Zehao, Li · Zikun, Li · Guangyu, Wang · 李国立 · Lu, Donglin · Wang, Yiliu · 段辉高 · Lei, Liao · 刘渊
Applied Physics Reviews 2026
钒德华金属层压缓解接触钉扎后,单层MoS₂晶体管不再表现出异常的短沟道效应,关态电流降低,器件可以按预期缩放。
采用钒德华接触后,单层晶体管的泄漏路径被遏制,关态电流恢复到低于厚层器件的水平,这对低功耗芯片至关重要。