超离子氟化物栅电介质

Meng, Kui; Li, Zeya; Chen, Peng; Xingyue, Ma; Huang, Junwei; Li, Jiayi; Qin, Feng; Qiu, Caiyu; Yilin, Zhang; Zhang, Ding; Deng, Yu; Yang, Yurong; Gu, Genda; Hwang, Harold; Qi-Kun, Xue; Cui, Yi; Yuan, Hongtao

超离子氟化物栅电介质

电容耦合超20 μF cm⁻²

一种由稀土金属氟化物构成的新型栅介质，兼具超低离子迁移势垒与高电容耦合，为二维电子器件提供高兼容性和超高开关比。

Meng, Kui · Li, Zeya · 陈鹏 · Xingyue, Ma · Huang, Junwei · Li, Jiayi · Qin, Feng · Qiu, Caiyu · Yilin, Zhang · 张定 · Deng, Yu · Yang, Yurong · Gu, Genda · Hwang, Harold · Qi-Kun, Xue · Cui Y. · 袁洪涛

Nature Nanotechnology 2024

具体参数

电容耦合: 20 μF cm⁻²
亚阈值摆幅: 65 mV dec⁻¹

技术优势

MoS₂晶体管开/关电流比超过10⁸

漏电流密度约10⁻⁶ A cm⁻²