圆度<5 μm、直径≈100 μm
基于飞秒激光与五轴振镜的动态扫描策略，在氧化铝陶瓷上实现低损伤、高几何精度的微孔加工。
Yufei, Tang · Huang, Wenjian · 吴超群 · Cao, Shiyu · 邓腾飞
Optics and Laser Technology 2026
采用5 μm阿基米德螺距和40次重复扫描，微孔圆度低于5 μm。
通过优化螺旋间距与扫描次数，微孔直径可控制在100 μm左右。
层数200、扫描速度100 mm/s时，钻孔时间缩短至119.34 s，兼顾质量与效率。
激光偏转角3°可在0°至8°范围内获得直壁。