五自由度柔性对准平台

交叉耦合低于0.11%

面向卷对卷印刷电子，通过串并联柔性子结构实现喷墨打印头五自由度位姿补偿，显著提升多层印刷套准精度。

Yang, Shang · Li, Yuxia · 陈伟海 · Chen, Shasha · 王磊 · 孙先涛

Chinese Journal of Mechanical Engineering (English Edition) 2025

参数信息

X轴行程

335.1 µm

Y轴行程

418.9 µm

Z轴行程

408.1 µm

绕Y轴旋转行程

3.4 mrad

绕Z轴旋转行程

3.29 mrad

交叉耦合误差

<0.11 %

技术优势

五自由度运动补偿

通过串并联柔性子结构实现五自由度运动，补偿打印头与基材之间的位姿误差。

交叉耦合极低

实测y轴和z轴交叉耦合误差低于0.11%，从而无需额外解耦控制即可保证运动精度。

多电机驱动

采用音圈电机和直线电机作为驱动器，响应快、无摩擦，适合精密位置调整。

应用场景

• 精密仪器与测量：用于精密定位平台，提升对准精度。
• 微纳制造：在微纳制造中补偿多自由度位姿误差。
• 机械工程：基于柔顺机构设计，用于精密机械系统。
• 柔性器件：提升卷对卷印刷中柔性器件多层套准精度。