脉冲离子束剥离设备

单原子层精准剥离

通过精确控制离子束能量选择性去除表面缺陷原子层，在不损伤下方完整层的前提下实现大面积的完美表面。

Shi, Feng Feng · Tian, Ye · 陈梦璐 · 郝群

Small Methods 2025

技术优势

可大规模批量生产完整原子层表面

选择性去除表面缺陷原子层，保持下方完整层

与传统方法相比具有更宽的加工窗口和更高的性能与质量