压电粘滑致动器

2纳米开环分辨率

基于临界能量评价与混合控制,实现从后移运动到平滑运动的连续定量调控,兼顾全行程运动可控性与定位精度。

王福军 · Jianhua, Dai · 刘海涛 · Shi, Beichao · Liang, Cunman · 田延岭

Mechanical Systems and Signal Processing 2025

参数信息

开环步进分辨率(后移运动)
2 nm
开环步进分辨率(步进运动)
38.57 nm
后移运动频率
100 Hz
临界运动频率
135 Hz
步进运动频率
170 Hz
平滑运动频率
205 Hz

技术优势

2 nm开环分辨率

无需闭环位移传感器即可实现纳米级步进,简化系统并降低成本。

运动模式连续可调

通过调节驱动信号参数,能在100至205 Hz间定量切换后移、临界、步进和平滑运动,适应不同任务需求。

兼顾速度与精度

临界能量评价与PID混合控制策略在保证运动可控性的同时维持全行程定位精度。

应用场景