2纳米开环分辨率
基于临界能量评价与混合控制,实现从后移运动到平滑运动的连续定量调控,兼顾全行程运动可控性与定位精度。
王福军 · Jianhua, Dai · 刘海涛 · Shi, Beichao · Liang, Cunman · 田延岭
Mechanical Systems and Signal Processing 2025
无需闭环位移传感器即可实现纳米级步进,简化系统并降低成本。
通过调节驱动信号参数,能在100至205 Hz间定量切换后移、临界、步进和平滑运动,适应不同任务需求。
临界能量评价与PID混合控制策略在保证运动可控性的同时维持全行程定位精度。