化学辅助高质量
高重复性微通道制造方案，宽度均匀性79%、深度均匀性84%，化学辅助刻蚀使表面粗糙度降低75%，并支持四束以上并行加工。
Yong, Pang · 孙树峰 · Xi, Wang · 张丰云 · Haitao, Dong · 王进 · Wang, Pingping · Hayasaki, Yoshio · Ahmad, H. · Monka, Peter Pavol
Optics and Laser Technology 2025
通过高温化学辅助刻蚀，表面粗糙度Sa降低了75%，有利于微流控中的流体稳定流动。
宽度均匀性达79%，深度均匀性达84%，保证了批量加工时通道性能的一致性。
可产生四束以上光斑，能够同时加工多条微通道，显著提高加工效率。