表面非晶化可控
建立了预测金刚石非晶化临界注入剂量的解析模型，为通过镓离子注入改善天然金刚石工具寿命和掺杂制备n型半导体金刚石提供指导。
Jianbiao, Du · Liu, Hanzhong · Shuo, Wang · Wu, Bing · 宗文俊
Vacuum 2023
解析模型可预测金刚石非晶化的临界注入剂量，并考虑加速电压、注入角度和晶向的影响。
在较高加速电压下，模型预测精度令人满意，并通过电子背散射衍射技术验证。
通过球差透射电子显微镜实现了镓离子注入致天然金刚石非晶化的原子尺度观测。