1250 Hz 高工作频率
通过拓扑优化设计机械结构来突破工作频率限制，同时利用闭环控制实现超高的运动精度，适用于微纳结构表面的高效精密加工。
Zhao, Dongpo · Du, Hanheng · 王海涛 · Zhu Z.
International Journal of Mechanical Sciences 2023
拓扑优化设计的机械结构使最大工作频率达1250 Hz，显著高于现有快速刀具伺服器，从而提高加工效率。
采用比例积分控制器和前馈补偿的闭环控制系统，使三种工况下的运动轨迹误差均低于±50 nm。