碳酸氢钠活化抛光液

效率4.5倍

用碳酸氢钠活化过氧化氢，让SiC抛光又快又环保，告别低效高污染的传统抛光液！

郭晓光

Journal of Manufacturing Processes 2024

参数信息

CMP

5 nm/h

抛光液效率提升

450 %

Post-polish surface roughness

0.016 nm