碳酸氢钠活化抛光液

效率4.5倍

用碳酸氢钠活化过氧化氢,让SiC抛光又快又环保,告别低效高污染的传统抛光液!

Yu, Shen · Haoxiang, Wang · 郭晓光 · 高尚

Journal of Manufacturing Processes 2024

参数信息

CMP
5 nm/h
抛光液效率提升
450 %
Post-polish surface roughness
0.016 nm