三维激光微加工系统

测量加工同轴原位

同一飞秒激光源实现加工与测量,从源头消除定位偏差,三维加工定位更准。

徐思佳 · Yu Y.-H. · 田振男 · 王雷 · Ai-Wu, Li · 陈岐岱

Optics Express 2024

参数信息

原位测量分辨率优于
100 nm
可测表面倾斜角小于
10 °