三维激光微加工系统

测量加工同轴原位

同一飞秒激光源实现加工与测量，从源头消除定位偏差，三维加工定位更准。

徐思佳 · Yu Y.-H. · 田振男 · 王雷 · Ai-Wu, Li · 陈岐岱

Optics Express 2024

具体参数

原位测量分辨率优于

{'zh': '100', 'en': '> 100'} nm

可测表面倾斜角小于

{'zh': '10', 'en': '< 10'} °