耦合场尖端加工结构

亚20nm可控

利用纳秒脉冲激光辐照AFM探针,通过调节针尖-样品距离实现金属表面纳米线与纳米图案的可控加工,为碳纳米管器件制备提供规则排列的加工能力。

Yin, Hailong · 崔健磊 · Ren, Xiaoying · Ullah, Naveed · Theogene, Barayavuga · 凡正杰 · 王文君 · 梅雪松

Surfaces and Interfaces 2024

参数信息

最小横向特征尺寸
16.65 nm
最大深度
16.99 nm

技术优势

能调控形貌和尺寸

通过调整针尖-样品距离调节表面耦合能量,从而控制纳米结构的形貌和特征尺寸。

能加工到亚20nm

最小横向特征尺寸达到16.65 nm,突破20 nm的加工极限。

可做碳纳米管排列

规则排列的结构可用于碳纳米管器件的制造。

应用场景