亚20nm可控
利用纳秒脉冲激光辐照AFM探针,通过调节针尖-样品距离实现金属表面纳米线与纳米图案的可控加工,为碳纳米管器件制备提供规则排列的加工能力。
Yin, Hailong · 崔健磊 · Ren, Xiaoying · Ullah, Naveed · Theogene, Barayavuga · 凡正杰 · 王文君 · 梅雪松
Surfaces and Interfaces 2024
通过调整针尖-样品距离调节表面耦合能量,从而控制纳米结构的形貌和特征尺寸。
最小横向特征尺寸达到16.65 nm,突破20 nm的加工极限。
规则排列的结构可用于碳纳米管器件的制造。