纳米级超隐形激光切割

切宽数十纳米，深宽比达万级

利用背散射干涉爬行机制，实现透明固体内部纳米级切口，打破传统激光加工的衍射极限与精度-深宽比权衡。

李臻赜 · Fan, Hua · 王雷 · Xu, Zhang · Xinjing, Zhao · Yu Y.-H. · Xu, Yishi · Wang, Yi · Wang, Xiaojie · Juodkazis, Saulius · 陈岐岱 · 孙宏波

Nature Photonics 2024

技术优势

切割宽度数十纳米

深宽比1000–10000

适用于玻璃、激光晶体、铁电和半导体材料