大行程柔性纳米操纵器

2×2 mm² 无缝直写

用板簧柔性机构取代压电陶瓷管，把纳米操纵器的扫描行程从百微米级拓展到毫米级，使扫描探针光刻无需拼接即可覆盖超大区域，并支持高速原位表征。

Liu, Yijie · Xuexuan, Li · Lin, Ge · 张铮

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2023

参数信息

Maximum scan range

2 mm²

光刻速度

约 2 mm/s

in situ characterization

500 μm²

应用场景

• 扫描探针光刻：用毫米级行程替代步进拼接，直接写大面积图案而无需拼接对准。
• 纳米计量：同一探针平台原位成像，避免样品转移带来的污染与损伤。
• 精密运动控制：板簧导向机构配合重复控制实现高带宽、高精度轨迹跟踪。
• 大面积纳米制造：单次 2×2 mm² 的无缝加工能力大幅提高大面积纳米制造效率。