单晶硅三维纳米铣削

亚表面损伤浅

采用三维超声振动辅助纳米铣削工艺，相比传统二维铣削能显著抑制硅材料的亚表面损伤，拓展了超精密加工的能力边界。

Wang J.

International Journal of Mechanical Sciences 2023

技术优势

三维超声振动辅助纳米铣削的应变率高于二维纳米铣削

大垂直振动幅度和高频率下产生浅亚表面损伤