高精度二维运动
采用可分离设计和圆角柔性铰链并联结构，实现输出解耦并降低耦合误差，适用于不同尺寸和类型的柔性平台。
Song, Bowen · 景秀并 · Yingying, Ren · Ren, Yongqin · Li, Huaizhong
Nanomanufacturing and Metrology 2023
并联结构和圆角铰链使两个方向的运动相互独立，显著降低耦合误差，简化控制策略。
平台采用可拆卸结构，可更换不同尺寸和类型的柔性平台，适应不同加工需求，降低整体成本。
实验测试显示系统具有精确的运动能力，幅值响应和运动轨迹均表现出良好性能。