纳秒激光硅纳米点阵列

打破飞秒激光垄断

用纳秒激光在单晶硅表面实现高度有序纳米点阵列，解决了纳秒激光热效应导致的不可控问题，为低成本大面积纳米图案化提供新途径。

Qian, Yongfeng · Xihua, An · Hong, An · 黄虎 · 耿延泉 · 张志宇 · Huang, Weihai · Yan, Jiwang

Laser and Photonics Reviews 2025

技术优势

不需要飞秒激光

用纳秒激光实现了通常只有飞秒激光才能做到的纳米点阵列，大幅降低设备门槛和加工成本。

工艺极其简单

一步直接在硅片表面形成大面积有序结构，无需掩模或复杂后处理。

多种功能集成

同一阵列可同时用于光反射/衍射调控、结构色和SERS，减少多器件集成步骤。

应用场景

• 结构色：利用有序纳米点阵列的衍射效应直接呈现结构色，替代颜料或染料，实现耐候、环保的色彩。
• SERS基底：有序纳米点阵列可提供均匀且增强的电磁热点，用作SERS基底，提高检测灵敏度和重现性。
• 微纳光学器件：该纳米点阵列可直接用作光反射和衍射调控器件，或作为母版复制集成到微纳光学系统中。
• 光学衍射元件：通过有序纳米点阵列的周期结构实现对衍射的调控，用于制作光栅或其他衍射光学元件。