5 J 成形精度最高
不同激光能量下成形的杯形零件中，5 J 能量下成形精度和综合力学性能最优，该工艺为 MEMS 薄壁微零件提供了一种高效成形方案。
Zhang, Yan · 张兴权 · Ji, Kankan · Junsheng, Qin · 左立生 · Wang, Ziyu
Optics and Laser Technology 2025
在 4、5、6 J 三种能量中，5 J 成形的杯形件轮廓精度最佳，可直接满足 MEMS 零件尺寸要求。
5 J 成形件因铜的应变硬化、位错积累和孪晶共同作用，表现出最佳力学性能。
底部圆角处经历更剧烈变形，显微硬度普遍高于中心区域，这对需要承受局部载荷的微零件有利。