金刚石微构件

激光车削保真

结合脉宽激光车削策略,通过纳秒粗加工+皮秒精修的协同,使单晶金刚石微构件的表面质量达到与材料本体相当的完整性。

Xingguang, Zhang · 郑李娟 · Hu, Xiaoyue · Lai, Zhiwei · Yanping, Xiang · 王成勇

Journal of Materials Processing Technology 2026

参数信息

表面粗糙度
0.103 μm
尺寸精度
2 μm
微轴最小直径
75 μm
微轴尖端半径
2.5 μm

技术优势

兼顾效率与表面质量

通过纳秒激光粗加工与皮秒激光精修解耦,先高效去除材料,再消除热影响层,获得高质量表面。

消除热损伤

皮秒激光精修在去除纳秒加工产生的热影响层的同时,不引入新的热损伤,恢复材料本征性能。

微米级成形能力

可实现最小直径 75 μm、尖端半径 2.5 μm 的微轴,满足精密微构件需求。

应用场景