椭圆振动辅助纳米划痕InP

表面平整近损伤

该加工技术通过椭圆振动辅助纳米划痕结合激光预处理，在InP晶体上实现高质量表面并减少亚表面损伤。

Wang J.

Journal of Materials Processing Technology 2025

参数信息

应变速率高

5.7 × 10⁶ s⁻¹

技术优势

表面粗糙度 Ra 2.06 nm

激光加工后硬度降低