玻璃表面粗糙度 50 nm
这种加工头能在绝缘材料表面直接引发电化学放电,实现无热损伤的应力自由化学去除,表面粗糙度低至 Ra 50 nm。
刘为东
International Journal of Machine Tools and Manufacture 2025
表面粗糙度 ~Ra 50 nm
加工部位温升 ~160 °C
石英玻璃微特征加工无亚表面损伤