无金属污染
以硅针为电极的直流高压静电消除器，避免金属杂质污染，适用于半导体生产环境。
Yanyi, Wang · 王丽 · Yong, Chen · Zihan, Yuan · 刘轩东
Journal of Electrostatics 2025
硅针电极避免引入金属杂质，从根本上防止半导体制程中的金属污染。
负极性放电的静电衰减时间更短，平衡电压性能更优，提升消除效率。
增加电压可加快静电消散速度，在更高电压下获得更快衰减。