沟道迁移率高
这种氟化二金刚烷单层作为MOSFET沟道材料,同时满足ITRS对高性能和低功耗应用的亚7纳米节点要求,超越多数已报道的二维材料。
董林鹏 · Penghui, Li · Li, Chong · Roqan, Iman S. · 蓬勃 · Xin, Bin · 刘卫国
Carbon 2023
亚7 nm MOSFET性能满足ITRS高性能和低功耗标准