去除率升16.8%
专为碳化硅陶瓷开发，利用羟基软化和超声振动协同作用，在不牺牲表面质量的前提下显著提升抛光效率。
Chen, Xin · Zhang, Chao · 孟范伟 · Tianbiao, Yu · 赵继
Tribology International 2023
羟基的软化氧化作用削弱了SiC表面硬度，结合超声强化磨粒冲击与侵入，使去除率提升16.8%。
在去除率提升的同时，表面粗糙度改善28.1%，说明协同抛光在不牺牲表面质量的前提下提高了效率。
羟基/金刚石混合抛光液可直接替换现有超声抛光中的传统金刚石浆料，无需额外配制。