高效低损加工石英玻璃
采用簇状复合磨料制备的固定磨盘,在保证表面质量的同时显著提升石英玻璃的材料去除率。
王占奎 · Pengzhan, Wang · Xiaokun, Wei · 逄明华 · 冯伟 · Yunlong, Yao · 苏建修
Materials Today Communications 2024
簇状复合磨料的磨盘比单一晶体磨盘去除率显著提升,FCDDCAP 达到 3.611 μm/min。
簇状磨料能部分修复大划痕等表面损伤,FCSDCAP 加工后表面粗糙度最低达 91.564 nm。
FCCAP 磨盘的摩擦系数高于单晶磨盘,FCSDCAP 平均摩擦系数达 0.127,有利于稳定去除。