激光诱导周期结构改性SiC

磨削效率质量双升

在SiC表面形成激光诱导周期性结构改性层，使材料去除呈现延性模式，显著降低磨削力并提升加工质量。

陈沛 · Zhuangzhuang, Chi · 潘瑞 · Qin, Fei · Qiu, Pei · Huang, Jiaxu · 徐少林

Journal of Materials Processing Technology 2023

技术优势

划痕力更小

相同划痕条件下，改性表面的划痕力大幅降低，意味着磨粒切入更容易，机床负载减小。

延性去除出现

划痕区域观察到相变，证明存在延性模式去除，可避免脆性崩碎，提高表面完整性。

应用场景

• SiC晶圆减薄加工：减薄时采用激光辅助磨削提高材料去除率，同时保证晶圆表面质量。
• 硬脆材料精密磨削：对硬脆材料先激光改性再磨削，降低磨削力，减少亚表面损伤。
• 功率器件衬底加工：功率器件SiC衬底减薄加工中，采用此方法提升加工效率与表面完整性。