硅基外延金刚石膜

散热能力更佳

通过界面调制获得更大金刚石晶粒，为硅基器件散热提供更优的异质集成方案。

李星 · 李琬 · Lin, Chaonan · 黄涛 · 周晶 · 祝捷 · 杨珣 · 杨西贵 · Zhang, Zhenfeng · Zhu, Yandi · 任晓燕 · Jin, Ziliang · 董林 · 程少博 · 李顺方 · 单崇新

Advanced Science 2024

具体参数

比例从

3 %

比例

20 %

技术优势

外延β-SiC中间层上可获得更大金刚石晶粒