大孔径倾斜平移压电平台

一阶固有频率超5kHz

采用夹心式压电致动器和柔性铰链解耦设计，实现三自由度大行程运动与高分辨率，适用于光束精确指向与离焦补偿。

Guan, Jinghan · Bolong, Liu · Zhang, Shijing · 陈维山 · 刘英想

Mechanical Systems and Signal Processing 2026

参数信息

一阶固有频率

5075 Hz

交叉轴耦合

1.64 %

X轴行程

1.64 mrad

Y轴行程

1.89 mrad

Z轴行程

13.62 μm

X轴分辨率

2.66 μrad

技术优势

高频响

一阶固有频率高达5075 Hz，远超传统设计的1 kHz，使平台能够快速响应光束抖动。

低串扰

交叉轴耦合低于1.64%，接近解耦，各轴运动独立，简化了控制。

大孔径

中心区域无遮挡，平台可直接置于光学主光路中，无需折叠光路。

应用场景

• 光束指向稳定：补偿光束指向抖动，维持光路稳定。
• 显微镜离焦补偿：校正显微成像中的离焦漂移，提升图像清晰度。
• 微纳定位平台：提供三自由度大行程、高精度定位。
• 光学链路稳定：稳定光链路，补偿指向误差和离焦。